14.6 切割工艺的比较（3）

  (4)电化学加工。电火花加工的一个变形是电化学加工(ECM)，这时刀具作为阴极而工件作为阳极浸泡在电解液中，典型的功率级大大提高，当工作在8V、250A电源下，电解液为质型的功率级别为200~40000A，7~25V直流电。其加工速度可比电火花加工大大的提高。当工作在8V、250A的电源下，电解液为质量分数15%的的生实际生产中可在30s内为一台涡轮透平滑压器制部件去除毛刺。

  (5)超超声波加工(USM)是一种用砂浆喷嘴在成型刃具和靶材之间加人砂浆进行加工的一种技术(见图14-37）。成型刃具安装在一个声波传导器的末端，以大约20000Hz的频率在0.025~0.050mm范围内振动。

  超声波加工通常局限于加工直径小于100mm的陶瓷零件，通常使用200~80*(0.066~0.011mm直径)的石英砂或碳化硼砂，可加工深度为65mm的型腔，精度可达到±0.01mm或更好，体积切除量为0.4~1.3cm³/min。当用于在陶瓷上钻孔时，穿透速度

为0.25~1.5mm/min，而表面粗糙度则达到R0.4mm。