

全自动多晶硅还原钟罩清洗设备
生产多晶硅的还原炉炉筒,因为粘附在内壁的物料和污物,需要清洗和烘干。根据我公司已经实际制造清洗和烘干还原炉钟罩成熟的经验,推荐如下清洗和烘干工艺及设备。
一、主要设备
1、高压水清洗泵组:
(1)工作压力:100-300bar ,可调范围为20-300bar
最大流量:50-200L/min(要求设备供水量不小于100-50L/min);
耐酸碱、最大进水温度:85°C。
正常工作温度在30-70°C左右。
进水加热用汽水板式热交换器。
(2)功率:45KW
2、可移动高压清洗机:(DIG200/20EM-D)
(1)工作压力:可调范围为0-200 bar
最大流量:20L/min(要求设备供水量不小于30L/min);
正常工作温度在10-45°C左右。
(2) 功率:7.5KW
3、热风烘干装置
配置高压高温漩涡风机+3级空气过滤器(过滤精度≦0.1-1um)。空气洁净度(1-10万级);空气流量约3000-5000Nm³/h;可以根据现场情况配备电加热器或蒸汽热交换器,加热空气温度自动控制,常温至80°C。
4、360度无死角三维清洗器
清洗工作压力:100-300bar ,可调范围为20-300bar
最大流量:50-200L/min
清洗方式:360度全方位无死角清洗。
二、工艺流程
还原炉炉筒吊装、定位——脱盐水预清洗——氢氧化钠(氟化氢铵溶液)热水清洗 ——高纯水(脱盐水)水漂洗 ——纯净空气热风烘干 ——纯净空气常温干燥——还原炉炉筒吊出 ——还原炉清洗流程完成。
