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全自动高压清洗机超声波清洗机多晶硅还原钟罩清洗设备
作者:管理员    发布于:2021-08-29 09:20:03    文字:【】【】【
摘要:生产多晶硅的还原炉炉筒,因为粘附在内壁的物料和污物,需要清洗和烘干。根据我公司已经实际制造清洗和烘干还原炉钟罩成熟的经验,推荐如下清洗和烘干工艺及设备

全自动多晶硅还原钟罩清洗设备

生产多晶硅的还原炉炉筒,因为粘附在内壁的物料和污物,需要清洗和烘干。根据我公司已经实际制造清洗和烘干还原炉钟罩成熟的经验,推荐如下清洗和烘干工艺及设备。

一、主要设备

1、高压水清洗泵组:

1)工作压力:100-300bar ,可调范围为20-300bar

最大流量:50-200L/min(要求设备供水量不小于100-50L/min);

耐酸碱、最大进水温度:85°C。

正常工作温度在30-70°C左右。

进水加热用汽水板式热交换器。

2)功率:45KW

2、可移动高压清洗机:(DIG200/20EM-D

1)工作压力:可调范围为0-200 bar 

最大流量:20L/min(要求设备供水量不小于30L/min);

正常工作温度在10-45°C左右。

(2) 功率:7.5KW

3、热风烘干装置

配置高压高温漩涡风机+3级空气过滤器(过滤精度≦0.1-1um)。空气洁净度(1-10万级);空气流量约3000-5000Nm³/h;可以根据现场情况配备电加热器或蒸汽热交换器,加热空气温度自动控制,常温至80°C。

4、360度无死角三维清洗器

清洗工作压力:100-300bar ,可调范围为20-300bar

最大流量:50-200L/min

清洗方式:360度全方位无死角清洗。

、工艺流程

还原炉炉筒吊装、定位——脱盐水预清洗——氢氧化钠(氟化氢铵溶液)热水清洗 ——高纯水(脱盐水)水漂洗  ——纯净空气热风烘干 ——纯净空气常温干燥——还原炉炉筒吊出 ——还原炉清洗流程完成。

 

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公司名称:海虹科技(北京)有限公司

公司地址:北京市昌平区回龙观西大街9号院东亚

              上北中心6号楼18层2101室

联系人:汪民生  先生

联系电话:+86-010-60526955

手机:+86-13501287449

邮箱:hsbjwms-001@163.com

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