全自动多晶硅还原钟罩清洗设备

生产多晶硅的还原炉炉筒，因为粘附在内壁的物料和污物，需要清洗和烘干。根据我公司已经实际制造清洗和烘干还原炉钟罩成熟的经验，推荐如下清洗和烘干工艺及设备。

一、主要设备

1、高压水清洗泵组：

（1）工作压力：100-300bar ，可调范围为20-300bar

最大流量：50-200L/min（要求设备供水量不小于100-50L/min）；

耐酸碱、最大进水温度：85°C。

正常工作温度在30-70°C左右。

进水加热用汽水板式热交换器。

（2）功率：45KW

2、可移动高压清洗机:（DIG200/20EM-D）

（1）工作压力：可调范围为0-200 bar 

最大流量：20L/min（要求设备供水量不小于30L/min）；

正常工作温度在10-45°C左右。

（2） 功率：7.5KW

3、热风烘干装置

配置高压高温漩涡风机+3级空气过滤器（过滤精度≦0.1-1um）。空气洁净度（1-10万级）；空气流量约3000-5000Nm³/h；可以根据现场情况配备电加热器或蒸汽热交换器，加热空气温度自动控制，常温至80°C。

4、360度无死角三维清洗器

清洗工作压力：100-300bar ，可调范围为20-300bar

最大流量：50-200L/min

清洗方式：360度全方位无死角清洗。

二、工艺流程

还原炉炉筒吊装、定位——脱盐水预清洗——氢氧化钠（氟化氢铵溶液）热水清洗 ——高纯水（脱盐水）水漂洗  ——纯净空气热风烘干 ——纯净空气常温干燥——还原炉炉筒吊出 ——还原炉清洗流程完成。